Projectworkshop Automated Component Cleaning in Microelectronics

Informationen und Zielsetzung

Die Mikroelektronik ist bekannt für die hochreinen Räumlichkeiten und die extrem hohe Präzision der Produktionsprozesse. Einige Prozessschritte erfordern eine regelmäßige Reinigung von Bauteilen, welche in hochspezialisierten Anlagen genutzt werden. Während der Produktion lagern sich beispielsweise Prozessrückstände oder Materialien an den Wänden und Sensoren von Anlagen ab. Diese müssen von Zeit zu Zeit gesäubert werden um die Präzision der Anlagen zu gewährleisten.

Die Menge an zu reinigenden Bauteilen ist durch den letzten Ausbau der Halbleiterfabriken stark angestiegen und der vermehrte Einsatz von Automatisierung soll hier den Durchsatz steigern.

Die Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH lädt dazu gemeinsam mit dem Fraunhofer Geschäftsbereich Reinigung, vertreten durch das Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP und das Fraunhofer-Institut für Verfahrenstechnik und Verpackung IVV in Dresden zu einer Projektwerkstatt ein.

Die Projektwerkstatt fokussiert auf die drei Elemente optische Erfassung, Datenanalyse und Automatisierung und soll ca. 15 Unternehmen und FuE-Einrichtungen dieser Kompetenz miteinander vernetzen. Um einen praxisnahen Austausch zu erreichen, wird die Projektwerkstatt in den Räumlichkeiten des Unternehmens Mitsubishi Chemical Europe durchgeführt, welche diese zur Verfügung stellt. Aufgrund des eingeschränkten Zugangs ist die Teilnehmerzahl begrenzt auf 15 Teilnehmer sowie entsprechenden Technologiekompetenzen.

Anfragen bitte direkt an die WFS oder den Fraunhofer Geschäftsbereich Reinigung.