FHR Anlagenbau GmbH, Ottendorf-Okrilla
Eine Gruppe engagierter Ingenieure aus Dresden mit jahrelanger Erfahrung in Dünnschicht- und Mikrosystemtechnologie gründete 1991 das Unternehmen FHR Anlagenbau GmbH mit dem Ziel, moderne, funktionale Beschichtungen in maßgeschneiderte Produktions-Konzepte umzusetzen.
Moderne Elektronik ist biegsam. Für die Herstellung beispielsweise flexibler Solarzellen, organischer Displayfolien oder biegsamer Sensoren bietet FHR mit seinen Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und PECVD-Technologie das passende Anlagenkonzept.
Als Substratmaterialien werden Metall- und Plastikfolien eingesetzt, die Beschichtungsbreite ist individuell. Das Anlagenkonzept bietet höchste Flexibilität in den Verfahrensbereichen Sputtern und Bedampfen. Ein frei programmierbares Bandlaufwerk und eine Regelung der Substrattemperatur ermöglichen das Prozessieren unterschiedlicher Substratmaterialien und Foliendicken in einem weiten Prozessfenster.
Dazu verfügt FHR über Know-how zur Integration von In-situ-Prozessmesstechnik und abgeleiteten Online-Prozesssteuerungen.
FHR Anlagenbau GmbH, Ottendorf-Okrilla